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晶圆UV脱胶机是半导体行业中常用的设备

发布时间:2023-07-17 人气:1,281

晶圆UV脱胶机是半导体行业中常用的设备,用于去除晶圆上的胶水或粘合剂。在半导体制程中,晶圆经过一系列加工步骤后,可能会在其表面或背面涂覆胶水或粘合剂,以固定晶圆或连接其他组件。然而,在某些工艺步骤完成后,需要将胶水或粘合剂从晶圆上去除,这时就需要使用晶圆UV脱胶机。

晶圆UV脱胶机的工作原理是利用紫外线辐射来分解和破坏胶水或粘合剂的分子键,使其失去黏性,并能够轻易地从晶圆表面脱落。通常,晶圆UV脱胶机包括以下主要组成部分:

1. UV光源:通常采用紫外线灯管或者紫外线LED光源,能够发射出高能量的紫外线辐射。

2. 加热系统:通过加热晶圆和胶水或粘合剂,提高脱胶效果。

3. 晶圆传输系统:用于自动将晶圆送入脱胶机并将脱胶后的晶圆取出。

4. 控制系统:用于控制UV光源和加热系统的操作参数,以实现脱胶过程的控制和调节。

使用晶圆UV脱胶机可高效且非常快速地去除胶水或粘合剂,从而减少对晶圆的损伤,提高工艺可靠性。此外,紫外线脱胶具有无溶剂,环境友好等优点,并且可以适用于各种类型的晶圆。

需要在使用晶圆UV脱胶机时,遵循操作规范,并确保安全防护措施得到有效执行,以保证工作场所的安全性和人员的健康。

   

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