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晶圆UVLED解胶机可以实现高效、快速、精确的晶圆解胶

发布时间:2023-07-17 人气:1,172

晶圆UVLED解胶机是一种专门用于半导体工业中去除晶圆背面粘合剂的设备。在半导体制程中,晶圆背面通常需要粘贴粘合剂,然后将晶圆与载板或基板进行粘接。而在某些工序完成后,需要将晶圆与载板分离,并且将背面的粘合剂去除。

晶圆UVLED解胶机采用紫外线辐射技术来快速分解和固化晶圆背面的粘合剂。它通常包括以下组件:

1. UVLED光源:采用高能量的紫外线LED光源,发射特定波长的紫外线辐射。

2. 加热系统:通过加热晶圆和背面粘合剂,提高解胶效果。

3. 控制系统:用于控制UVLED光源和加热系统的操作参数,以实现解胶过程的精确控制。

4. 晶圆传送系统:用于自动将晶圆送入解胶机并将解胶后的晶圆取出。

利用晶圆UVLED解胶机可以实现高效、快速、精确的晶圆解胶,同时减少对晶圆的机械损伤。这种解胶方式不需要使用有机溶剂或高温处理,减少了对环境和健康的影响。同时,UVLED光源具有长寿命、稳定性好的特点,能够提高设备的可靠性和使用寿命。

需要注意的是,晶圆UVLED解胶机在使用时需要遵循操作规范,并确保安全防护措施得到有效执行,以保证工作场所的安全性和人员的健康。

   

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